Lam與imec擴大3D整合及Aether光阻研發
Lam Research 與 imec 擴大共同研發，聚焦先進 3D 整合、封裝及未來記憶體製程，並在 High-NA EUV 研究環境探索 Aether 乾式光阻。雙方已展示 20 奈米間距釕金屬互連圖案化的研究成果，但不代表量產導入。
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High-NA EUV
與「High-NA EUV」相關的科技新聞。
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